ug环球私网网站加载速度慢_ASML策画于2025年出货High-NA EUV成立

发布日期:2024-01-06 13:12    点击次数:150

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据日本媒体报导,光刻机巨头艾司摩尔 (ASML) 实行副总裁 Christophe Fouquet近日暗示,半导体产业需要 2030 年代斥地数值孔径 0.75 的超高 NA EUV 光刻本事,满足半导体发展。

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Christophe Fouquet 指出,自 2010 年代以来 EUV 本事越来越练习,半导体制程微缩至 2020 年前后三年,以向上 50% 幅度前进,但这一速率可能会在 2030 年代放缓不敷使用。

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故而,ASML策画年底前发表首台商用 High-NA (NA=0.55) EUV 微影光刻成立 (原型制作),2025 年量产出货。2025 年驱动,客户就能从数值孔径为 0.33 传统 EUV 多重图案化,切换到数值孔径为 0.55 High-NA EUV 单一图案化,镌汰制程资本,新2会员投注提升产量。

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High-NA EUV成立预估会有五大客户:英特尔、台积电、三星、SK海力士、好意思光,可最早使用成立。

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据先容,柯林研发、科磊、HMI 和 JSR 及东京电子等正与 ASML 互助,斥地 High-NA EUV 材料与特用化学品。

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据了解,面前EUV光刻机价钱为每套3亿好意思元,因此可瞻望,昔日High-NA EUV 价钱也将荒谬不菲。